微納制造與醫工交叉團隊

董正瓊

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時間:2019-09-16 浏覽:來源:儀器科學與質量工程系

職稱:副教授

電話:

郵箱:dongzhq@hbut.edu.cn

學曆:博士

/博士導師:碩士生導師

團隊信息:微納制造與醫工交叉團隊

研究方向:集成電路芯片缺陷及形貌檢測

研究生情況:已指導17人,畢業生簽約精測電子、廣州電子五所等高科技企業

一、個人簡曆

研究方向包括集成電路芯片缺陷及形貌檢測、裝備智能運維與健康評估、可靠性工程等,主持并完成了國家級自然科學基金青年項目1項目、中國博士後科學基金項目1項、湖北省自然科學基金1項、湖北省教育廳重點項目1項,第一作者發表SCIEI期刊論文13篇、CSCD雙核心論文10篇,2020年獲得湖北省科技進步二等獎;近5年,還主持了“白光幹涉系統研發”“裝備狀态監測數據分析軟件”、“基于仿真的裝備測試性預計技術及應用研究”、“某型平台故障診斷維修原型系統開發”等多項軍内科研外協項目。

二、教育背景

2010.9-2015.6:華中科技大學,機械電子工程,博士

2006.9-2010.6:華南理工大學,機械工程及其自動化,學士

三、工作經曆

2015.7-今 77779193永利官网 測控技術與儀器系

四、研究課題及論文

(1) Moving sine average-based surface recovery method with enhanced noise resistancein white light interferometry, Optical Engineering, 2025, 64(2): 024104

(2) High-Precision Correction for Spatial Light Modulator Based on Quadriwave Lateral Shearing Interferometry, IEEE Photonics Technology Letters, 2024, 36(6): 421-424

(3) Effects of Measurement Configurations on the Sensitivity of Morpho Butterfly Scales Based Chemical Biosenso, Frontiers in Physics, 2022, 9: 806904-806904

(4) Nonuniform depolarization properties of typical nanostructures and potential applications, Optics Letters, 2020, 45(7): 1910-1913

(5) Influence of incident illumination on optical scattering measurement of typical photoresist nanostructure, Acta Physica Sinica, 2020, 69(3): 030601-030601

(6) Dependence Analysis Based Data-Refinement in Optical Scatterometry for Fast Nanostructure Reconstruction, Applied Sciences-Basel, 2019, 9(19): 1-12

(7) 基于馬赫-曾德爾點衍射的雙模式定量相位成像, 光學學報, 2025, 45(1): 107-114

(8) 基于梯度方差聚焦評價的三維顯微測量方法, 激光與光電子學進展, 2024, 61(14): 124-130

(9) 基于四波橫向剪切幹涉的表面形貌測量方法, 激光技術, 2024, 48(06): 906-912

(10) 基于光學散射的T型相變存儲器三維形貌參數測量研究, 激光與光電子學進展, 2022, 59(3): 29001

五、科研成果及專利

(1) 董正瓊; 趙治俊; 王選擇; 一種基于移動正弦拟合的快速解包絡算法, 2018-5-11, 中國, 201610841327.0 (專利)

(2) 董正瓊; 趙治俊; 王選擇; 張雨; 周向東; 楊練根; 王恒輝; 一種改進的基于飛行時間檢測的超聲波測距方法, 2019-8-2, 中國, 201611155206.7 (專利)

(3) 董正瓊; 王尚靜; 甘英銘; 移動機器人電池管理系統, 2021SR1227789, 原始取得, 全部權利, 2021-4-22 (軟件著作權)

、獎勵榮譽

2020年獲湖北省科技進步二等獎

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